真空溅射91福利在线视频 是用几十电子伏或更高动能的荷能粒子轰击材料表面,使其原子获得足够高的能量而溅出进入气相,这种溅出的、复杂的粒子散射过程称为溅射。真空溅射91福利在线视频就是利用溅射现象实现制取各种薄膜。
优点:膜厚可控性和重复性好;与基片的附着力强;膜层纯度高质量好;可制备与靶材不同的物质膜。
缺点:成膜速度比蒸发91福利在线视频低;基片温度高;易受杂质气体影响;装置结构较复杂。
目前最常用的真空溅射91福利在线视频 技术是磁控溅射91福利在线视频技术。这种技术能增加与气体的碰撞几率,提高靶材的溅射速率,最终提高沉积速率。因此更适用于具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的功能性薄膜、装饰领域、微电子领域。
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